【一周招—中标】北方华创新增中标设备4台，上海微电子装备新增中标设备1台，华虹宏力新增设备招标3台

集微网消息，本周，西安奕斯伟新增设备招标6台，华虹宏力新增设备招标3台，山东有研新增设备招标3台，浙江创芯集成新增设备招标2台；晶盛机电新增中标设备10台，矽电半导体新增中标设备7台，北方华创新增中标设备4台，上海微电子装备新增中标设备1台，KLA新增中标设备13台，应用材料新增中标设备9台。

重要招标数据：

本周招标18台设备，其中，工艺检测1台，CMP 3台，热处理3台，清洗设备2台，其他设备9台。

重要中标数据：

本周中标81台设备，其中，刻蚀设备2台，薄膜沉积11台，工艺检测35台，热处理2台，清洗设备3台，其他设备28台。

本周重点企业动态：

近日，芯源微在接受机构调研时表示，目前在手订单饱满，前道涂胶显影机offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售；华海清科披露的投资者关系活动记录表显示，公司CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖；应用材料宣布任命Jeff Bodner为公司新任副总裁、财务总监和首席会计官；东京电子CEO河合利树日前接受日经新闻采访表示，在今天，元宇宙、物联网、人工智能、云计算和5G通信等各类应用领域都对半导体有强劲需求。

以下是本周部分招标信息汇总：

以下是本周部分中标信息汇总：

（校对/韩秀荣）