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上海微电子不是早就有90纳米光刻机了吗?

2022-11-01 00:36:08 来源:互联网

 

是早就有,不是近期或者刚刚才有,确定无疑!关键在于,截至目前,虽然90纳米仍旧是我们国内以及上海光刻机整机产品的最高水平,却不是国产光刻机整机技术的最高水平。

早就有报道说是在2016年突破的。这样的报道性文章网上多的是,在今日头条上搜索便知。突破指的是面向90纳米工艺节点的193纳米波长国产光刻机整机用于生产芯片。国内广泛采用,性能长期稳定;倒不能说是全部国产化的,似只能说基本实现了国产化或主要是国产的,因为早就有报道说材料用的是日本的,零部件则是在遭遇国外断供后自造的。

中科院早就知道突破了。正是因为知道,2020年12月26日,即差不多两年前,中科院院士白春礼在为十三届全国人大常委会作的专题讲座中才说,在国家重大科技专项的支持下,我们国家在光刻机领域取得了长足进步,目前已在开展面向28纳米工艺节点的193nm波长的光刻机研制攻关。但极紫外光刻机方面,我们还有很长的路要走。中科院系统早就是传统技术路线国产光刻机关键核心技术研发的支柱性力量,研发范围覆盖高中低端以及DUV和EUV光刻机的技术,中科院当然最清楚我们国内光刻机领域的发展现状和趋势。

太多的国人早就知道突破了。包括头条上的太多用户,其中的太多创作者有哪个一直以来没把国产90纳米以及28纳米的光刻机作为创作素材?包括早就实现规模量产的14纳米先进工艺等。倒是,有可能不知道目前上海全市集成电路产业规模已经达到2500亿元,约占全国25%,集聚重点企业超过1000家,吸引了全国40%的集成电路人才,上海新闻发布会上发布的新闻只是这些信息?

早就知道有就不应该当作新闻来传播。有人甚至说远超预期、事实上,进展比我们想象的快,匪夷所思。难道没发现爆料中的上海负责人讲话是不完整的吗?不过是只言片语,显然残缺不全,重要的是前后不搭,更重要的是很像选择性爆料,爆料人不过是取其所需。按说,一看到90nm光刻机就会立马愣住了!立即认为是爆料有误以至是上海负责人口误,以为本来是说28nm光刻机实现突破了呢!这当然才属于新闻,不免立刻狂喜起来了。其实,发现没?上海负责人不可能直接说90nm光刻机,绝对不至于这么不专业地说专业的事,且不说是在层级够高的官方正式场合。

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