中微公司MOCVD设备已在客户芯片生产线上验证

《科创板日报》8月23日消息，中微半导体设备（上海）股份有限公司表示，该公司制造硅基氮化镓功率器件用MOCVD设备已在客户芯片生产线上验证。此外，制造Micro LED应用的新型MOCVD设备以及用于碳化硅功率器件应用的外延设备等也正在开发中。

公开资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司。通过向全球领先的半导体和LED芯片制造商提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。中微基于跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域。

中微的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的芯片加工制造及先进封装，中微开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备也已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。中微公司的客户遍布中国大陆和台湾、新加坡、韩国、日本、德国、意大利、俄罗斯等国家和地区。

智慧芽数据显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司及其关联公司累计申请专利2000余件，其中发明专利1700余件，占比超过85%。该公司在中国、美国、韩国、日本、德国等国家拥有专利布局。通过进一步分析其专利技术数据可知，该公司在等离子体、处理装置、反应腔、半导体等领域拥有丰富专利布局。