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年产能10万片,科友第三代半导体产学研聚集区一期投产
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集微网消息,8月18日,位于黑龙江省哈尔滨新区的科友第三代半导体产学研聚集区项目一期正式投用。
哈尔滨新区报消息显示,科友第三代半导体产学研聚集区项目由哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司(简称科友半导体)与哈尔滨新区共同投资10亿元建设,将打造包括技术开发、装备设计等在内的全产业链的科技成果转化及产业化应用研究集聚区,并以哈尔滨为总部,打造国家级第三代半导体装备与材料创新中心。
据介绍,目前生产车间里已经安装完100台长晶炉,后续还要安装100台。预计年底全部达产后可形成年产10万片6英寸碳化硅衬底的生产能力。
科友半导体成立于2018年,主要攻关第三代半导体材料和装备,在相继突破4英寸和6英寸SiC衬底和装备技术的基础上,不断向产业化方向迈进,目前已形成从材料到衬底和装备的自主知识产权体系,具备规模化生产条件。
今年6月17日,科友半导体宣布,以其自主设备和技术研发的6英寸SiC晶体在厚度上实现突破,达到32.146mm,业内领先。此外,其自主研发的SiC长晶炉(感应)已有99%的部件实现国产替代。(校对/赵碧莹)
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